超純水執行標準

　　本標準采用下列定義.

　　3.1電子 水electronic grade water

　　制造電子元器件工藝過程中所用的高純水. 3.2電阻率resistivity

　　在規定溫度下,1 cm2水溶液兩相對面之間測得的電阻值.通常用符號P表示，單位為Ω﹒cm，純水的理論電阻率為18.3 MΩ﹒cm (25℃). 3.3全硅total silicon

　　水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態存在的硅的總量. 3.4可溶性硅soluble silicon

　　以單 分子狀態存在于水中的溶解性硅酸鹽. 3.5微粒性物質granular matter

　　除氣體以外，以非液態分散在水中，并形成非均相混合物的物質. 3.6總有機碳(TOC) total organic carbon

　　水中以各種有機物形式存在的碳的總量.包括易被 般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。 3.7吸附absorption

　　某些多孔性粒狀物質由于表面活性作用而具有吸著某些物質的能力。

　　3.8凝聚coagulation

　　在源水中加入某種電解質后，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現象。 3.9絮凝flocculation

　　水中的微粒在 定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉淀的現象。絮凝 般是在凝聚作用后緩慢進行，可除去水中更細的微粒。 3.10砂濾器sand filter

　　用于盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。 3.11 活性碳過濾器activated carbon filter

　　裝有粒狀活性碳的過濾器，用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余氯。 3.12離子交換ion exchange

　　 種不溶性物質與 種液體之間相互交換離子的可逆過程，該過程中物質并無實質性結構變化.

　　3.13去離子水deionized water

　　經過離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質的高純水。 3. 14再生regeneration

　　離子交換過程操作循環中的 部分。在該部分中，用 定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢復交換能力。 3.15復合床complex bed

　　將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中，將兩柱串聯，使水依次通過兩個柱而被純化，復合床處理水的純度雖不及混合床，但操作較簡單。 3.16混合床mixed bed

　　將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻，填充于同 離子交換柱中，其純化效果相當于許多組合床串聯使用，出水質量好但再生比較麻煩. 3.17電滲析electrodialysia

　　 種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽兩 之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分隔成 系列小室，水流通過小室時，在直流電場作用下，水中陽離子向陰 方向移動，但不能通過陽膜;陰離子則相反.這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。 3.18反滲透reverse osmosis

　　亦稱逆向滲透。 種利用滲透原理進行分離的方法。用半透膜將濃水和淡水隔開，并在濃水上施加比滲透壓更強的機械壓力，則濃水中大部分水透過半透膜而雜質仍留在其中，達到分離提純的目的.

　　3.19反滲透膜reverse osmosis membrane

　　用于反滲透法制備純水的 種合成薄膜，其孔徑 般為0. 02 μm或更小，可用于除去無機離子、有機物、細菌等，使水純化。 3. 20微孔膜濾器membrane filter

　　 種平均孔徑(直徑)大于0. Olμm的薄膜，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。

　　3.21超過濾uhrafihration

　　 種過濾方法，在 定壓力下使水流通過超濾膜以除去水中的 細微粒、膠體和細菌等.