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名稱（Name） |
真空式等離子處理系統 |
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型號（Model） |
CRF-VPO-8L-S |
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控制系統（Control system） |
PLC+觸摸屏 |
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電源（Power supply） |
380V/AC,50/60Hz,3kw |
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中頻電源功率（MF Power） |
600W/13.56MHz |
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容量（Volume） |
80L（Option） |
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層數（Electrode of plies） |
8（Option） |
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有效處理面積（Area） |
400（L）*300（W）（Option） |
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氣體通道（Gas） |
兩路工作氣體可選： Ar、N2、CF4、O2 |
產品特點：超大處理空間，提升處理產能，采用PLC+觸摸屏控制系統，有效控制設備運行。
可按照客戶要求定制設備腔體容量和層數，滿足客戶的需求。
保養維修成本低，便于客戶成本控制。
高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持。
應用范圍：主要適用于生物醫療行業，印制線路板行業，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。
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