產品歷經市場考驗,廣泛應用于半導體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、石化、醫療、食品、航空電力等行業,已經成為支撐各工業領域行業發展的重要設備。
●高/低耐壓可選
● 大量程30L/min
流量規格:(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10) L/min
(15,20,30) L/min
調節閥類型:電磁調節閥
調節閥靜止位置:常閉
準確度:± 1.0% F.S ± 2.0% F.S
線性:±1.0 % F.S,±2.0 % F.S
重復精度:±0.2 %F.S
響應時間:≤8 s(T95)
工作壓差范圍:(50 ~ 300) kPa; (10~30)L/min (100~300)kPa
耐壓:3 MPa、10 MPa
工作環境溫度:5℃ ~ 45℃
材料:不銹鋼316L
標準密封材料:Viton﹑EPDM, 或其他
漏率:1×10-8 Pa.m3/s
接頭:Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),
軟管接頭:Ф4mm~Ф10mm 或其它
輸入輸出信號:0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
電源:+15 V 50 mA
-15V 200 mA
外形尺寸:134×134×38(mm)
重量:1.2kg