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    發布信息當前位置: 首頁 » 供應 » 機械及行業設備 »
    

    

    

    
 


    

    

    ACM RESEARCH 槽式濕法清洗設備系列
    		

    

    


    

    

    

    		

    

    



    

    
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品 牌：
美國ACM RESEARCH 

    

    
單 價：
面議 

    

    
起 訂：
 

    

    
供貨總量：


    

    
發貨期限：
自買家付款之日起  3 天內發貨

    

    
所在地：
上海

    

    
有效期至：
長期有效

    

    
最后更新：
2024-12-09 22:04

    

    
瀏覽次數：
56

    

    
詢價

    

    
    		

    

    
    		
 


    公司基本資料信息
    




    

    



    

    

    		
 

    

    

     
    

    

    

    

     
    

    

    


    





    
    
產品詳細說明

    

    

    

     　　主要優勢

    　　槽式SPM清洗模塊與單片清洗腔體相結合來進行去膠工藝。SPM的壽命可通過使用時間和工藝片數來控制。現階段，SPM的使用量跟單片高溫清洗設備相比能減少80%以上。
    

    　　單片晶圓腔體內可配置通用藥液比如DHF,SC1,SC2和O3。可按要求配置噴嘴和/或者兆聲波清洗來提高去除顆粒污染物的效率。
    

    　　工藝的順序可靈活設置，該設備可按照不同的產品需求進行槽式清洗工藝或者只進行單片清洗工藝。
    

    

    

    

     
    

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